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ITO靶材烧结炉

发布时间:2014-04-26 点击次数:1904次
主要特点:
(1) 炉壳以国家压力容器标准建造,并通过国家质量技术监督局检验认证.
(2) 真空和气氛烧结实现自动化,安全稳定。设备选用国内外 知名厂家产品,质量可靠。
(3) 炉膛材料使用高纯多孔氧化铝陶瓷材料砌成,烧结环境纯 净,材料性能优异烧结温度可提高到1850℃,并在纯氧的生产气氛 下安全使用。
(4)炉壳整体水冷结构,结构紧凑合理。可在真空、气氛烧结两 种烧结条件单独优化使用。
进出气方式做适当的调整,可以适应氮气,氢气,氩气等气 氛以及酸碱腐蚀性气氛的生产条件。
(5)根据炉壳设计标准等级,调整适当结构真空、气氛烧结的 独立使用,达到两台单独炉子的使用效果。
主要参数:
有效使用尺寸:客户定制
设备尺寸:1700℃/1850℃
工作气氛条件:氧气(可切换其他气氛)
控制精度:1.0MPa
典型应用:
用于ITO靶材烧结
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